鲍曼推出新型XRF仪器

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Bowman推出了一种新的仪器,用于半导体和微电子学中最小的特性。

鲍曼的W系列使用聚毛细管光学将X射线束聚焦到7.5μm的FWHM,这是世界上最小的光束尺寸,用XRF技术进行涂层厚度分析。一个150倍的放大相机被用来测量在该比例上的特征;它伴随着一个二次的低倍率相机用于实时观看样本和鸟瞰宏视图成像。Bowman的双摄像头系统让运营商看到整个部分,点击图像放大与高MAG相机,并确定要编程和测量的功能。

一个可编程的X-Y级,每个轴的精度小于+/- 1μm,用于选择和测量多个点;Bowman模式识别软件和自动聚焦功能也自动完成。该系统的3D映射能力可用于观察诸如硅晶片之类的部件上的涂层的形貌。

W系列仪器的标准配置包括7.5μm的钼阳极管(铬和钨可选)和高分辨率、大窗口硅漂移探测器,其每秒处理200万次以上。硅漂移探测器是标准的,全行业的,复杂的薄膜。它们的高计数率能力是实现低最小检出限(MDL)和最高光谱分辨率的关键。

W系列是Bowman XRF仪器套件中的第七款机型。像其他的组合,它同时测量多达5个涂层,并运行先进的Xralisher软件,以量化涂层厚度从检测到的光子。XRALIZER软件结合直观的视觉控制和省时

快捷方式,广泛的搜索能力,和“一点击”报告。该软件还简化了用户创建新的应用程序。

Bowman是精密XRF涂层测量系统的领先制造商,具有强大的本地服务网络,为每一个XRF需求提供了同一天的响应,在全球范围内。设备评估,选择,调试,维护和现代化,为所有Bowman仪器的用户,以及其他XRF品牌提供。所有的Bowman系统都是在美国制造的。

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