CyberOptics 展示了大颗粒遥感中半导体台湾下一代尘埃粒子传感器的功能

CyberOptics® 公司 (纳斯达克︰ CYBE)，全球的领先开发商和制造商的高精度三维传感技术解决方案，宣布它将展示其新一代机载粒子传感器技术 (APS2)，包含了大颗粒遥感能力。WaferSense® 和 ReticleSense® 机载粒子传感器 （APS2、 APSR 和 APSRQ） 可以测量小的和大的颗粒。新的大颗粒检测和测量功能涵盖范围与四箱大于 2、 5、 10 和 30 微米的颗粒大小。产品将陈列在即将到来的半导体台湾台北，在 2016 年 9 月 7-9 日在展位 #200 4 楼。

CyberOptics 的 APS2 组合速度设备设置和半导体晶圆通过无线监测颗粒物中实时的长期收益率。下一代 APS2 为甚至更大的灵活性，提供了业界领先的精度和灵敏度值由半导体晶圆厂和设备 oem 厂商。

“我们已经在半导体晶圆厂采取无线粒子测量已知最佳方法和使它甚至更好，”说摩天陈、 销售总监、 CyberOptics、 亚洲。”我们已经扩大了 APS2 技术将大颗粒测量能力列入这样相同的装置，我们的客户使用节省时间、 节省费用和提高产量。”

在半导体台湾，CyberOptics 也将展示其 WaferSense 和 ReticleSense 自动多传感器 (AMS/AMSR) 那测量水准测量、 振动和相对湿度 (RH) 多功能一体无线实时设备中。 轻薄的外形使 AMS 旅行通过几乎任何工具和 AMSR 可以捕获多个测量在所有位置的十字线环境。 所有在一设备还有另一种方式增加产量和减少停机时间在半导体的环境中。

关于 WaferSense 和 RetcileSense 线

WaferSense 测量组合包括自动调平系统 (ALS)，自动间隙系统 (AGS)，汽车振动系统 (AVS)、 自动教学系统 (ATS)，机载粒子传感器 (APS)，新一代机载粒子传感器 (APS2) 新汽车多传感器 (AMS)，并可在各种硅片形状根据不同的设备，包括 150 毫米、 200 毫米和 300 毫米晶圆的形式因素。ReticleSense 测量组合包括机载的粒子传感器 (APSR & APSRQ) 和下一代 APS2、 自动调平系统 （阿尔什尔） 和新汽车多传感器 (AMSR)，可在十字线形状的窗体的一个因素。

解决方案有关的 CyberOptics 整行的详细信息请访问 www.cyberoptics.com。