CYBEROPTICS演示的WaferSense和reticlesense技术在SEMICON West

CyberOptics公司全球开发者和高精度三维传感技术解决方案供应商,将展示的WaferSense和reticlesense汽车多传感器(AMS / AMSR)在SEMICON West七月11-13日在三藩莫斯康展览中心,加利福尼亚。CYBEROPTICS将在展位6562。

CyberOptics的独特的AMS / AMSR组合措施整平,振动,和相对湿度(RH)合一、无线、实时的设备。利用晶圆或多视点/ multireview软件盘形传感器,制程工程师可以方便的进行诊断和实时看到调整的影响。AMS / AMSR速度设备安装和设置,降低维修费用,提高客观的和可重复的数据处理的均匀性。

“半导体晶圆厂越来越规范和要求的WaferSense和晶圆厂的各个领域reticlesense测量设备的使用,说:”Subodh Kulkarni,总裁和首席执行官、CYBEROPTICS。”无论是工具的安装和维护,这些传感器的高精度显着加快他们的进程,提高设备的正常运行时间和提高产量。”

在SEMICON West,CyberOptics公司也将展示广泛采用尘埃粒子传感器(APS2 / apsrq)用于无线监控和故障排除的空气颗粒物下降到0.14μm和30 m箱尺寸μ在半导体工艺设备和自动化材料处理系统。该传感器快速识别何时何地的粒子起源和实时测量清洗的调整和修复的有效性-节省显著的时间,费用和资源。

CyberOptics的WaferSense和ReticleSense Line

测量的WaferSense组合包括自动调平系统(ALS),自动间隙系统(AGS),汽车振动系统(AVS)、自动教学系统(ATS)、尘埃粒子传感器(APS),先进的机载粒子传感器(APS2)和新的汽车多传感器(AMS)是可用的在各种片形因素取决于设备,包括150mm、200mm和300mm晶圆尺寸。的reticlesense测量组合包括尘埃粒子传感器(机载脉冲搜索雷达&apsrq)和下一代APS2,自动调平系统(式)和自动多传感器(AMSR)可在一个十字形因素。  

关于CYBEROPTICS

CyberOptics公司是一家全球领先的开发商和制造商的高精度传感技术解决方案。CYBEROPTICS传感器被用于通用测量与三维扫描,表面贴装技术(SMT)和半导体市场大幅提高产量和生产力。凭借其领先的技术、公司战略确立了自己在高精度三维传感器的全球领导者,让CYBEROPTICS进一步增加其关键垂直市场渗透。总部设在明尼阿波利斯,明尼苏达、CYBEROPTICS进行全球业务,通过其在北美洲的设施,亚洲和欧洲。

有关本公司的预期业绩的陈述是前瞻性的,因此,涉及风险和不确定性,包括但不限于:在全球SMT和半导体资本设备行业的市场环境;提高价格竞争和价格压力对我们的产品销售,尤其是我们的SMT系统;从我们的OEM客户的订单水平;需要满足客户订单部分的可用性;意料之外的产品发展的挑战;我们的销售世界事件的影响,其中大多数是来自国外的客户;在电子产品市场快速变化的技术;我们的竞争对手的产品和定价;我们的3D技术项目的成功;成功的cybergage360;和在该公司提交给美国证券交易委员会规定的其他因素。

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