微电子技术在三个方面的发展

微电子技术在三个方面的发展

芬兰VTT技术研究中心,具有独特的pillarhall测试结构来加速市场进入立体的、小的、高效的、低功耗,高性能电子元件。这将有助于开发具有挑战性的薄膜和相关的制造工艺,从而整个电子工业价值网络。

偶尔有人猜测穆尔的法律是否有效。晶体管已经被封装成如此小的正方形,以至于它们的收缩率在三个方面都在加速。例如,相当于40亿72层摩天大楼的一角硬币就可以创造一个256 GB的内存芯片。

VTT开发了创纪录的高纵横比的上一个非常具有挑战性的规模(10000:1和100 nm)在硅芯片和晶圆测试3D结构,以满足最具挑战性的应用的需求。 这些应用包括除半导体电路,同时光学MEMS、传感器、薄膜电池和太阳能发电。

“使我们的芯片特别的是,我们已经把分析变成了90度,采用了横向而不是传统的垂直方法,这样可以比现在的方法更快地生产数据和提前时间。例如,微观纵向结构的横截面分析可能需要数周时间,而支柱厅则无延迟地提供数据。其他优点包括精度、通用性、兼容性和不同工艺条件下,说:”发明者和资深科学家Riikka Puurunen(理学博士。(科技)的VTT)。

的pillarhall测试结构也引入了一个新的参数空间的分析,可以更有效的薄膜R&D,新的工业应用和过程控制应用。

PillarHall是特克斯的研究商业化计划的资助下。这涉及到对薄膜硅芯片的协调发展,这是一个关键的价值主张,ALD(原子层沉积)技术。ALD最初在芬兰和芬兰的关键球员都参与ALD技术开发项目顾问组:ASM,Beneq Picosun,赫尔辛基大学和okmetic公司。

VTT目前与PillarHall的第三代原型的工作,已由芬兰合作伙伴和一些研究机构试验成功。VTT是现在特别是寻求国际合作伙伴,为测试用户,推动了芯片的测试和商业化。

“通过行业用户的兴趣和积极的经验建立在我们的信心,pillarhall芯片和晶片可能有一天成为协调标准和商用,”项目经理Mikko Utriainen(澳大利亚(技术)。

 

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